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    sc80000环保水性抗蚀刻光阻


    SC-80000系列环保水性抗蚀刻光阻

    型号:SW-2000M(滚涂型)
    一、简述:
    环保水性感光抗蚀刻光阻適合於滚塗作业,具有高解像度和析度,适用於各式五金蚀刻图案之制作,此抗蚀刻光阻适合欧美環保耍求,无味,不含任何有毒物质,是行业同仁绿色颗伴.

    二、便用方式
    建议使用在(水準涂布,及有回流循環系统之垂直涂布),SC-80000系列適用於酸性蚀刻液.曝光速度快,適用自動曝光机.

    三、技朮特性:
    颜色               液态无色(蓝色)
    粘度                40±5PS
    曝光                50-150mj/cm2
    密著性              75/75
    解析度              50/50um
    硬化膜硬度          3H以上
    蚀刻                酸性蚀刻液

    四、环境條件:
    建议SC-80000系列(型号:SW-2000M)需在100000级无尘室中作业,避免杂质.涂布和烘干段需在100000及环境中.無尘室温度需保持在22+/-2℃,湿度需保持在55+/5%.需在黃光下作业.

    五、制程条件:
    1、前处理:
    SC-80000系列(型号:SW-2000M)可适用于化学清洁/或机械刷磨制程,其选择关键在於板面清洁和無铬残留,以下前处理方式已经在其制程上测試完成,而可得到良好的效果.

    a、化学清洁的三步骤:
    1)酸性清洁剂(硫酸、草酸)
    2)微蚀剂,微蚀速率20-40 microinches
    3)酸泡(溶解微蚀液中的盐类)

    b、机械喷刷:
    氧化铝和浮石粉刷磨制程可适用于SC-80000系列(型号:SW-2000M).酸性清洁剂則用干刷磨前除去板面铬化物.

    c、水洗:
    烘干前最后一道水洗需为去离子水,以確定板面没有盐类残留.適當的水洗和烘可避免水痕留于板面上.

    2、光阻的应用:
    油墨揽拌一需于生产中搅拌
    涂布方式一两面涂布
    涂布速度一2.0-5.0mmin
    涂布烘烤温度一75-150℃
    涂布厚度一10+-2um(烘干后)

    3.烘干:
    SC-80000系列(型号:SW-2000M)有非常宽烘烤範围,水準涂布機烘烤温度需達到80-150℃持60秒以上。其目的为去除水份让表面完全干燥.烘烤方式为热风且加IR.烘烤后厚度一10+/-2um.垂直涂布机烘烤温庋80-120℃,时间5-8分钟,烘烤后膜厚10+/-2um.

    4.曝光:
    - 5K-7K非平行光曝光機
    - 解折度能力-2mi线宽和线距
    - 最低曝光强度-10mw/cm2
    - 建议需大于-20mw/cm2
    - 能量50-100mj/cm2
    - 保持在7-9格盖膜.
    - 使用21格之能量格胶片.

    5、水溶性显影:
    一般标准连续式喷淋显影设备.
    显影:
    浓度-1.0+/-0.2%碳酸钠或碳酸钾浓度;温度-30+/-2℃;喷压-上喷-25-30psi;下喷-20-25psi;停留時间:30-60秒;40-60%显影点;PH>10.7。

    水洗:
    水洗停留時间最好为显影時间的1或1.5倍或是40秒以上。
    水洗压力-25-30psi
    水洗温度:22+-2℃

    烘干:
    烘干温度:50+/-2℃(備注:如果板子直接進入蚀刻槽則不需要烘干)

    6、蚀刻:
    酸性蚀刻係件;氧化还原電位:ORP-530mv+/-10mv;温度:-50+-2℃;銅離子含量:-150g1+/10g
    HCL浓度:-25+/0.5N,喷压:-20-30psi。
    7、剥膜:
    剥膜条件:5-8%氢氧化钠;温度55±3℃;喷压:-30-40ps;,剥膜時間30-50秒。
    发泡形成:适量的消泡剂或許需要。
    過滤:建必須加装。

    六、使用說明/注意事項
    1,滚涂:
    1)滚涂与烘烤条件:
    1.1滚涂膜厚与油墨及操作絛件有关,建议干燥后膜厚爲8-12um,统计资科表明:当膜厚控制在8-12um的時候,1公斤油墨可塗布的面積爲120-130平方尺.其影响膜厚和涂布面积的因素有:油墨粘度越高,涂膜厚度越厚。涂布面積越少。塗布轮间隙越大,涂膜厚度越厚.涂布面积越少,油槽間隙越大,塗膜厚度厚,涂布越少。涂布輪转速越快,涂膜厚度越厚。塗布面积越少。
    1.2设定适当环保水性稀释剂自动添加频率与每次添加量使油墨粘庋恒维持在适当粘度及涂膜厚度范围。
    1.3适用于自動水準或垂直式自动线滚涂及手動单面很滚塗機,温度與時間以使板温度到運80-150℃,持至少60秒以上,然后进行必要之冷却。
    1.4干燥条件可依厚及烤箱状况做適當调整。
    干燥過度自引起昱影不洁留下残渣(SCUM),干燥不足涂膜呈感压粘性,曝光時底片易粘油墨,显像時也会导致部份被洗除,无法進行抗蚀刻。

    2)注意事項:
    2.1涂布室必須保持干淨,否則灰尘等造成线路图案不良与困扰。
    2.2涂布作业必須在黄色灯光照明室内。
    2.3罐内有未倒尽油墨時,请随时盖好罐盖以防止粘度增高。
    2.4自动线滚涂机操作中因停机或其他原因造成油墨槽粘度上升時進行必要之稀释,调整粘度或作粘度控制时,请用本公司指定的环保水性稀释剂。

    2、烘烤:
    1)以板面实际温度达到80-150℃,60秒以上。
    2)注意事项:
    2.1干燥条件可依膜厚及烤箱状况做适當之调整,以上条件僅供参考。
    2.2干燥過度會導致后续显影時留下残渣。
    2.3干燥不足涂膜呈粘性,曝光時底片易粘油墨。显像時會部分被洗除,導致后续蚀刻時無法抗住蚀刻。

    3.曝光:
    1)曝光能量:50-100mj/cm2(干燥后膜厚8-12um)
    2)曝光格数:21階測试:6-8格蓋膜(格数高低因显影条件而异)。
    3.1測光能量分布均匀度,最好以UV能量計測試9点,均匀度達80%以上。
    3.2光能量不足时,在显影与蚀刻制程上容易造成膜脱落现象或解析度不良。
    3.3光量過大,抗蚀刻效果越好,但易产生曝光不良,同時去墨也較慢。


    4、显影
    1)显影液濃度過高或過低,均會影响显影速率。因此濃度必須控制在适当范围内,标准浓度1%,控制范围为0.8%-1.2%.
    2)显影時間太長或显影温度過高,均會破壞皮膜表面、硬度及耐化性。因此時間與温度亦必須控制在适当条件,
    显影時間須视显影点而定,膜越厚,显影時間越長,一般条件显影時間为45秒以内。
    3)温度28-32℃,喷压1.0-2.0  kg/cm2。

    5、去膜
    1)藥液温度越高去墨越快,最好設定在至少50℃
    2)塗膜越厚或曝光能量越高,去膜時間需越長。
    3)喷压最好维持在2.0kg/cm2以上。
    4)NaOH浓度一般维護在5-8%.

    6、制程間放置等候時間
    1)塗布后到願像時間最好不要超過12小時
    2)未显影前塗膜硬度只有2H,操作或搬运時要小心,避免刮伤塗膜.
    3)显影后塗膜有3H以上,但推放板子仍應小心涂膜被刮傷,适成蝕穿銅面(钢面)或開路.

    七、储存る般運
    请带塑膠手套和安全眼罩,以避免直接和皮肤和眼接触。
    储存温度在20-22℃可维持6個月。
    请勿直接曝晒在阳光下.避免混到胺類、氧化剂、酸和碱性物質、油性油墨.
    请勿重复使用空桶.

    八、棄物處理
    请参考當地政府法令办理。
    下列步骤爲一般废棄物处理流程:
    用10-20%硫酸调整显影和剥膜液,至PH值=2.4
    搅伴直到分散。
    静止2-4小時
    過滤后废水排放至废水处理池
    焚化其沉淀物后掩埋
    以上参数供参考。在使用中,因条件不同需作相应的调整。

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